日本豐興電磁閥AD-SL231D-710D-TOYOOKI

1. 產(chǎn)品概述

• 型號：AD-SL231D-710D

• 品牌：豐興（Toyoko Koki）

• 類型：電磁驅(qū)動高真空角閥（Solenoid-Actuated Angle Valve）

• 核心定位：

• 專需快速響應(yīng)與精確控制的真空系統(tǒng)設(shè)計，適用于半導(dǎo)體、分析儀器等自動化場景。

• 相比氣動閥，無需外接氣源，適合空間受限或需簡化系統(tǒng)的設(shè)備。

2. 核心特點

（1）電磁驅(qū)動優(yōu)勢

• 響應(yīng)速度：開關(guān)時間 ≤0.1秒（最快可達50ms），遠超氣動閥（0.3~0.5秒）。

• 集成控制：內(nèi)置電磁線圈，支持24VDC/12VDC（標(biāo)準(zhǔn)），可直接連接PLC或繼電器。

• 無氣源依賴：無需壓縮空氣，減少系統(tǒng)復(fù)雜度，避免油/水污染風(fēng)險。

（2）真空性能

• 泄漏率：<1×10?? Pa·m3/s（金屬密封），滿足UHV（超高真空）要求。

• 壓力范圍：大氣壓 ~ 1×10?? Pa（氟橡膠密封）或 1×10?? Pa（金屬密封）。

（3）耐用性與兼容性

• 閥體材質(zhì)：SUS304不銹鋼（默認(rèn)），可選SUS316L增強抗腐蝕性。

• 密封選項：

• 金屬密封（銅/鋁）：耐高溫（200°C）、抗等離子體侵蝕。

• 氟橡膠（FKM）：經(jīng)濟型選擇，適用于常溫及弱腐蝕性氣體（如N?、Ar）。

3. 技術(shù)參數(shù)

4. 與同系列對比（電磁閥 vs 氣動閥）

5. 典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體設(shè)備：

• 真空機械手（Loadlock）的快速隔離，晶圓傳輸腔室的氣體控制。

• 分析儀器：

• 質(zhì)譜儀、電子顯微鏡的真空通路切換。

• 自動化系統(tǒng)：

• 需PLC高頻控制的真空生產(chǎn)線（如鋰電池鍍膜）。

日本豐興電磁閥AD-SL231D-710D-TOYOOKI